河南激光打標機|激光調阻機|冰巖激光設備有限公司

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      端面泵浦型激光調阻機

      作者: 發布時間:2016-03-30 瀏覽次數:2147

      端面泵浦型激光調阻機

      電阻修刻應用范圍

      為了提高厚膜電路的精度,必須進行阻值調整。由于厚膜絲網印刷操作固有的不準確性,基板表面的不均勻及燒結條件的不重復性,厚膜電阻常出現正負誤差,如果阻值超過標稱值將無法修正,但是,一般情況下印刷燒成后阻值低于目標值的大約30%,所以要通過激光調整達到目標值。在壓力傳感器,電流傳感器等電路中,由于電阻的誤差因素,會導致傳感器電路的零位點產生正負誤差,一般情況下是由人工更換電路中的一邊電阻來達到調零的目的,需要各種不同阻值的貼片電阻來實現,調節比較麻煩,用激光調阻來實現在兩個電阻之間零位調節判斷,在很短的時間就可以完成,省去人工換電阻的麻煩,提高了生產效率。

      激光調阻系統及修調技術機理  

        激光修調是把一束聚焦的相干光在微機的控制下定位到工件上,使工件待調部分的膜層氣化切除以達到規定參數或阻值。調阻時局部溫升使玻璃熔化,氣化部分阻值槽邊緣受到玻璃覆蓋,可填平基體表面被切割的介質。先進的激光修調系統應用了大量的LSI、VLSI電路,以大部分的軟件操作代替許多硬件功能。核心部分是通過硬件直接與激光器、光束定位、分步重復及測量等系統相連接。測量系統由精密電橋和矩陣組合的無源網絡組成。先進的激光修調系統具有多種修調功能,可以修調混合集成電路、厚薄膜電阻器網絡、電容網絡、瓷基薄膜集成元件,還可以修調D/A和A/D轉換器的精度,V/F轉換器的頻率,有源濾波器的零點頻率及運算放大器的失調電壓等?! ?/span>

      先進的激光修調系統主要包括以下幾個部分:   

      (1) 激光器部分     

      采用半導體激勵Nd:YAG激光器,高頻Q控制開關,厚膜修調***小光斑達20μm,脈沖重復頻率為500Hz~50kHz。

      采用光纖激光器,高單脈沖能量,***小光斑達10μm,脈沖重復頻率10-100 kHz。

      采用端面泵浦半導體激光器,高頻Q控制開關,***小光斑達8μm,脈沖重復頻率1-100KHz,高瞬間脈沖能量,厚膜修阻更靜,溫漂更小。

      采用綠光激光器或者紫外激光器,可以加工更精密的電阻,刻線精細,其中紫外為冷加工,零溫漂使電阻更穩定,效果***好?!?/span>

      (2) 光束定位系統   

      采用振鏡式高速線性馬達,提高定位速度和精度。

      (3) 視頻監視系統    

      采用光學反射系統以及高清攝像系統,融合光束和攝像為同軸,視頻跟隨光斑移動,便于激光定位和監視。

      (4) 修調設定器

      它直接與激光器、光束定位器、分步重復臺及測量系統相聯接。它可以通過程序改變刻蝕尺寸,改變切割的修調方向,決定阻值變化,而不影響精度。另外,還具有自動校正功能,在長期工作時可使修調設定值保持穩定?!?/span>

      (5) 阻值及電壓測定裝置   

      采用精密電橋和矩陣組合的測試無源網絡,阻值測量精度可達0.5%,測量時間僅為5ms。這種設計可以防止外界干擾,且由于采用差動測量,自動消除偏離及極性轉換,還可用來測定有源電路修調時的直流電壓?! ?/span>

      修刻方式主要有以下幾種:  

      (1)單刀切割電阻法   

      (2)雙刀切割電阻法   

      (3)L型刀口切割電阻法   

      (4)交叉對切電阻法   

      (5)曲線型L刀口的切法   

      (6)曲線型U型刀口的切法   

      在實際工作中,主要應用的是前4種,對于不同的電阻應根據其方數的不同選擇不同的刀口。其中雙切和L型刀口***為常用,而且調過的阻值穩定性好。

      BY-DZ系列半導體激光調阻機主要技術參數

        型號 BY-DBDZ8W

        激光功率 8W

        激光波長 1064nm

        光束質量 ﹤1

        激光重復頻率 ≤20KHz

        打標范圍 70mm×70mm

        修刻線速 ≤8000mm/秒

        修刻深度 ≤0.01-1mm(使材料定)

        電力需求 220V/單相、50HZ/7A

        整機耗電 ≤500W

        整機免維護時間 150000小時

        冷卻方式 水冷卻

        結構 分體式

        光束定位

        類型:閉環振鏡控制式掃描系統

        修刻面積:70mmX70mm

        分辨率:2.5μm

        激光

        類型:半導體端面泵浦激光器,調制模式Nd:YAG

        波長:1064nm

        輸出功率:8W

        ***大重復頻率:20kHz

        光學

        典型光斑尺寸:15到25μm(70mmX70mm區域)

        焦深:1mm,實際切口寬度與材料、光學和激光波長有關

        校直/監視

        校直:軟件控制定位

        照明監視:LED冷光

        修刻區域放大:

        ***小區域大?。?**大放大):2.5mmX2mm

        定位:軟件控制定位

        計算機

        主機:工業控制計算機,LCD顯示器

        軟件

        ByTrim軟件:

        信號測量

        型號:一組四探針,加電流測電壓信號或直接測量電阻信號,可切換

        轉換速度:10μs

        校準:自動軟件校準

        恒流源

        輸出范圍:0.01μA~100mA計算機程控選擇

        高阻測量儀

        測量范圍:10K到1.6GΩ

        直流電壓測量

        信號輸入量程:-10V到 10V

        信號輸入阻抗:每個差分信號輸入端( 端或-端)相對GND阻抗1MΩ(可更改)

        信號采集采樣率:93.750K、46.875K、23.437K、11.718K、5.859K、2.930K、1.65K、0.732K八檔可調

        信號采集分辨率:24bit

        電阻測量

        范圍:0到100K 10K到1.6GΩ

        精度:大約5‰

        校準:自動

        移動方式

        平臺規格:300mm*250mm

        控制方式: PCL控制

        驅動模式:伺服電機驅動,滾珠絲杠保證移動平臺每個位置的精度。

        換片方式:由移動平臺實現,每加工一個后由軟件控制移動平臺移動到第二個電阻修刻,全部電阻修完后執行退片程序??啥ㄗ鋈詣由舷铝显O備,實現機器手上下料,完全取代人工操作,提高生產效率。

        探針分辨率:5μm

        探針板:特殊定制

        冷卻方式

        水循環冷卻

        電源要求

        220V,50Hz, 500W

        工作環境要求:

        環境溫度要求在5-35℃之間,要求裝空調。

        濕度要求為40%-80%。無結露,應該安裝除濕機。

        供電電網要求:220V;50Hz

        設備空間要求要保證無煙無塵,避免金屬拋光研磨等粉塵嚴重的工作環境。

        氣壓:86-106kpa。

        某些環境應裝防靜電地板,加強屏蔽等

        工作冷卻循環水的水質有嚴格要求,要求使用純凈水、去離子水或蒸餾水,不可以使用自來水、礦泉水等含有較高金屬離子或其他礦物質的水質。

        適用材料和行業應用

        適用于陶瓷厚膜電路,傳感器行業,調壓器行業,微電路等。

      廣泛應用于集成電路、電工電氣、手機通信、儀表儀器、軍工、航天等眾多行業的產品精密調節。

      請致電:洛陽冰巖激光設備有限公司,為您打造專屬的激光調阻設備,讓您的生產效率進一步提升,降低生產成本。
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